NL

NL

EN

繁體中文

 简体中文

You will be redirected to our Chinese website.

Contact

Contact

Deze site werkt prettiger als u javascript aanzet.

31380115

Surface Mount W-seal Filter

Surface Mount W-seal Filter >0.0015μm 75 SLPM RVS316L

Technische Specificaties
Artikel31380115
OmschrijvingSurface Mount W-seal Filter >0.0015μm 75 SLPM RVS316L
Materiaal
RVS316L
Materiaal gesinterde filtermedia
RVS316L
Helium lekstroom
Tot 10-9 atm cc/sec
Flow stroom
75 SLPM
Max. werktemperatuur
450° C
Connectie type
W-Seal 1,5"
Deeltjes vergieten
Nul deeltjes bijdrage boven de achtergrond (<1 particle>
Totale koolwaterstoffen
Onder detecteerbare limieten volgens ASTM F1398 testmethode
Vochtbijdrage
<10 ppb na 1 uur bij een lage flow omgevingsspoeling volgens semi f27 testmethode
Deeltjesverwijderingsgrootte
> 0.0015 μm
Filter efficiëntie (log reductie waarde)> 9 LRV (99.9999999% reductie in deeltjes). Bevestigd met de meest penetrerende deeltjesgrootte van 0,08 μm volgens SEMI F38-0699 testmethode
Dimensies
L
147,3 mm
L1
38,1 mm
Opmerkingen
Opmerkingen
Aangepaste ontwerpen en fittingen beschikbaar
Vergelijken
Algemene informatie

GasShield® Surface Mount Filters provide industry-leading 0.0015 µm filtration for integrated gas systems used on board semiconductor OEM tools. GasShield® products are compliant with SEMI F86-0304 specifications for dimensions of two port components for 1.125” and 1.5” four fastener surface mount gas distribution systems with the W-seal configuration.

Heeft u een vraag over dit product?

Vergelijk [?]

U kunt maximaal 4 artikelen met elkaar vergelijken.