
Contact
31321500
Point-of-Use Filter
Point-of-Use Filter >0.0015μm Face seal buitendraad 1/4 RVS316L
Artikel | 31321500 |
---|---|
Omschrijving | Point-of-Use Filter >0.0015μm Face seal buitendraad 1/4 RVS316L < 5µm Ra |
Materiaal | RVS316L |
Materiaal gesinterde filtermedia | Penta Nikkel |
Maximum werkdruk | 172.5 barg |
Helium lekstroom | Tot 10-9 atm cc/sec |
Maximale drukverschil | 34.5 bar |
Max. werktemperatuur | 450° C |
Connectie type | Face seal buitendraad/Face seal buitendraad |
Deeltjes vergieten | Nul deeltjes bijdrage boven de achtergrond (<1 particle> |
Totale koolwaterstoffen | Onder detecteerbare limieten volgens ASTM F1398 testmethode |
Vochtbijdrage | <10 ppb na 1 uur bij een lage flow omgevingsspoeling volgens semi f27 testmethode |
Deeltjesverwijderingsgrootte | > 0.0015 μm |
Filter efficiëntie (log reductie waarde) | > 9 LRV (99.9999999% reductie in deeltjes). Bevestigd met de meest penetrerende deeltjesgrootte van 0,08 μm volgens SEMI F38-0699 testmethode |
Polijsten | Elektrolytisch gepolijst |
Oppervlakte afwerking | < 5µm Ra |
C | Face seal buitendraad 1/4 |
---|---|
Ø D | 38,1 mm |
L | 84 mm |
SW (HEX) | 26,9 |
Opmerkingen | Aangepaste ontwerpen en fittingen beschikbaar |
---|
For high flow gas filtration efficiency, strength, and reliability, GasShield Penta® all-metal gas filters are ideal for ultra high purity gas delivery applications. They are offered in all welded 316L stainless steel housings with Penta® Nickel filter media and are compatible with most high purity semiconductor process gases. These filters provide 9-log filtration of particles down to 0.0015 µm.