Contact
31321500
Point-of-Use Filter
Point-of-Use Filter >0.0015μm Face seal buitendraad 1/4 RVS316L
| Artikel | 31321500 |
|---|---|
| Omschrijving | Point-of-Use Filter >0.0015μm Face seal buitendraad 1/4 RVS316L < 5µm Ra |
| Materiaal | RVS316L |
| Materiaal gesinterde filtermedia | Penta Nikkel |
| Maximum werkdruk | 172.5 barg |
| Helium lekstroom | Tot 10-9 atm cc/sec |
| Maximale drukverschil | 34.5 bar |
| Max. werktemperatuur | 450° C |
| Connectie type | Face seal buitendraad/Face seal buitendraad |
| Deeltjes vergieten | Nul deeltjes bijdrage boven de achtergrond (<1 particle> |
| Totale koolwaterstoffen | Onder detecteerbare limieten volgens ASTM F1398 testmethode |
| Vochtbijdrage | <10 ppb na 1 uur bij een lage flow omgevingsspoeling volgens semi f27 testmethode |
| Deeltjesverwijderingsgrootte | > 0.0015 μm |
| Filter efficiëntie (log reductie waarde) | > 9 LRV (99.9999999% reductie in deeltjes). Bevestigd met de meest penetrerende deeltjesgrootte van 0,08 μm volgens SEMI F38-0699 testmethode |
| Polijsten | Elektrolytisch gepolijst |
| Oppervlakte afwerking | < 5µm Ra |
| C | Face seal buitendraad 1/4 |
|---|---|
| Ø D | 38,1 mm |
| L | 84 mm |
| SW (HEX) | 26,9 |
| Opmerkingen | Aangepaste ontwerpen en fittingen beschikbaar |
|---|
Vergelijken
For high flow gas filtration efficiency, strength, and reliability, GasShield Penta® all-metal gas filters are ideal for ultra high purity gas delivery applications. They are offered in all welded 316L stainless steel housings with Penta® Nickel filter media and are compatible with most high purity semiconductor process gases. These filters provide 9-log filtration of particles down to 0.0015 µm.