| Nederlands | English | 繁體中文 |
简体中文 |

You will be redirected to our Chinese website.

Deze site werkt prettiger als u javascript aanzet.

single point gas flow control

Een specifieke gasstroom controleren

Met een rendabele oplossing

De besturing van de flow (gasstroom) is een belangrijk  en snel evoluerend onderwerp van gasdynamiek. Een kleine verandering van een configuratie kan resulteren in een groot technisch voordeel. Deze verandering kan worden bewerkstelligd door de inzet van statische of dynamische componenten. Statische componenten, zoals een doorstroomopening (orifice) of poreuze elementen, zijn stabiel en vereisen per definitie geen energie. Dynamische controle vereist actuatoren die altijd energie verbruiken (bv. magneetventielen en actuatoren). De aansturing kan vooraf worden bepaald (open-loop control) of afhankelijk gemaakt worden van sensoren die de flow “bewaken” (closed-loop control).

Dynamische of statische flowcontrole?

Veel ingenieurs denken direct aan MFC’s (mass flow controllers) als er behoefte is aan een specifieke gasstroom met een hoge nauwkeurigheid  in de ontwerpfase. Zodra het hele systeem is getest, wordt de MFC's vaak ingesteld op een enkele waarde en blijven de condities van gastoevoer (media, inlaatdruk, temperatuur en andere omstandigheden) hetzelfde. De MFC voldoet prima, maar het is flinke investering als je dit vergelijkt met een SFC (static flow controller), die aanzienlijk lager geprijsd is. Daarnaast moet een MFC regelmatig gekalibreerd worden (1 keer per jaar). Met een SFC zou je in staat zijn om de totale kosten te verlagen tot 70% ten opzichte van standaard industriële flowregelaars, afhankelijk uw toepassing.

SFC laminair flow

De techniek in een SFC resulteert in een laminaire flow.

Wat is een SFC?

Een statische flow controller (SFC) is een component dat wordt gebruikt om de gasstromen tot 40 slpm te controleren met een hoge nauwkeurigheid. Deze betrouwbare mechanische oplossing wordt ontworpen en gekalibreerd voor een specifiek type gas en een vooraf bepaald instelpunt. De SFC  wordt geconfigureerd om een specifiek aangegeven flow te verkrijgen, inclusief vacuüm, met +/- 1% nauwkeurigheid. De controller kan worden geconfigureerd met de veel voorkomende  ¼ “face seal of 1.125” IGS C-seal-verbindingen. SFC’s worden getest na kalibratie en elke unit wordt geleverd met een certificaat die de kwaliteit  garandeert, getoetst aan een NIST primaire standaard (zeer vergelijkbaar met MFC).

SFC Static flow controller

Ontworpen voor hightech toepassingen

Het ontwerp is mechanisch, eenvoudig en robuust. Alle SFC’s  hebben een inlaatpoort, een uitlaatpoort en een inwendig poreus metalen element. Het component heeft een compact ontwerp, wat ruimte bespaart in kleine ontwerpen. Het is gebouwd voor UHP (ultra high purity) toepassingen. Het is gemaakt van 316L roestvrij staal, met een 10 Ra oppervlakteafwerking, in een ISO klasse 5 cleanroom waardoor het uitermate geschikt is voor de halfgeleiderindustrie. Het kan ingezet worden voor semiconductorprocessen als lenskooeling, statische laminaire flow,  "etching", "chemical vapor deposition", "epitaxial deposition", "ion implant", "atomic layer deposition" en  wafer-transportatie. Maar er zijn vele andere OEM- of onderzoekstoepassingen waarin een statische  gasstroom nodig is.

Om de juiste SFC te bepalen, moet u de volgende gegevens verzamelen:

  • Gewenste flow (in SCCM of slpm)

  • Gassoort (bijv. stikstof)

  • Inlaatdruk (in psi of bar)

  • Uitlaat druk (in psi of bar)

  • Soort aansluiting 

  • Temperatuur gas (°C of °F)

Static gas flow control

Dynamic gas flow control

MEER INFORMATIE?

Neem vrijblijvend contact op met onze specialisten:

TEESING SALES ENGINEERS
Tel.   +31 70 413 07 50
Mail  sales@teesing.com

Teesing Sales Engineers