NL

NL

EN

繁體中文

 简体中文

You will be redirected to our Chinese website.

Contact

Contact

Deze site werkt prettiger als u javascript aanzet.

Naarmate de halfgeleiderindustrie zich ontwikkelt richting sub-10 nm lijnbreedtes (zoals 7nm, 5nm en kleiner), zullen nanodeeltjes, eens als hinderlijke deeltjes beschouwd, nu worden geclassificeerd als blokkerend. Met name in ALD- en CVD-processen is de noodzaak om nieuwe ultra zuivere gasfiltratietechnologie te ontwikkelen van cruciaal belang geworden. Op deze schaal moeten de filtratiemogelijkheden worden geverifieerd. We willen graag wat specifieke informatie met u delen over de verschillende halfgeleider productieomgevingen waarin deze MOTT-filters zich hebben bewezen, wat resulteert in minder fouten en minder downtime.

 

Filteren van organisch metallische precursoren met een hoge zuiverheidsgraad 

Mott High Purity Filters bieden 9-log filtratie van deeltjes tot 1,5 nm, wat resulteert in deeltjesvrij gas. Deze filters zijn specifiek ontworpen voor filtratie in geavanceerde depositieprocessen (ALD, CVD). MOTT’s FLP-model is specifiek geschikt voor filtratie van gassen met lage dampspanning, gegenereerd in een direct vloeistofinjectiesysteem, waarbij het proces gebruik maakt van een verdampingskamer.
Ze zijn bij uitstek geschikt voor de behandeling van lagedruk- of organometaaldamp in de dampfase, zoals TEMAZ, TEOS, TiCl4, TDMAT, TEPO, TEB, POCl, Z4MS, Ztomcats, Trans-LC en TMB.


Stroomopwaarts van het FLP filter


Stroomafwaarts van het FLP filter

 


Poreus metaal fiber filter


Intermoleculaire aantrekkingskrachten doen de truc

De 1,5nm filtercapaciteit wordt bereikt met behulp van een unieke metaalvezelfiltertechniek. Een algemene misvatting bij gasfiltratie is dat alleen grotere deeltjes worden opgevangen door middel van zeven, terwijl kleinere deeltjes door het filter gaan. Een metaalvezelfilter gebruikt de diepte van het filter om zelfs de kleinste deeltjesgrootte op te vangen. Dit proces is afhankelijk van de deeltjeshechting op basis van intermoleculaire aantrekkingskracht door Van der Waals en elektrostatische krachten.

 

Metaalvezel filter eigenschappen

De metaalvezeltechniek combineert de beste voordelen van gesinterde metaalfilters en teflonfilters:

  • 1.5 nm deeltjesretentie
  • Lage drukval
  • Lage dichtheid met meer open structuur met hydrofobe eigenschappen
  • Lage drukverschilvariabiliteit van onderdeel tot onderdeel maakt een goede systeemcontrole mogelijk
  • Geschikt voor hoge temperaturen: 450°C
  • Hoog drukverschil  500 psid


Poreus gesinterde metaal filter

 

Interested?

You have to fill in all field marked with *, otherwise we cannot process your request.

 

MEER INFORMATIE?

Neem vrijblijvend contact op met onze specialisten:

TEESING SALES ENGINEERS
NL: Tel.   +31 70 413 07 50
CN: Tel.   +86-(0)10-60576210
USA: Tel.   +(1) 973 383 0691
TW: Tel.   +886-(0)3-5600560