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擴散器

高潔淨擴散器

Mott之高潔淨擴散器是特別針對製程室、加載鎖及晶圓步進器而開發出來的,其微粒之形成必須盡量緩慢而漸進。使用多孔金屬擴散器可維持平層流穩定,使製程之微粒移動量降至最低。

擴散器的不同配置

全金屬材質的終端使用擴散器可搭配不同程度的過濾元件,並且可以與真空法蘭、表面密封接頭或密封圈連接使用。

Diffuser met vacuumflens Diffuser met ring Diffuser met Face seal verbinding

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