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IGS filters header

IGS過濾器

用於整合系統之IGS過濾器

Teesing針對整合系統方案提供了全系列IGS過濾器及節流器。包含了氣體分佈器(含歧管及氣瓶櫃)。

IGS過濾器專為系統之最大機動性而設計,並考量過濾器替換的方便性及減少維修時間。過濾器針對氣體相容性而提供了316L 不鏽鋼、鎳及Hasterlloy C-22(鎳鉻鉬鎢合金)等材質。流速範圍可從10 lpm到 100 lpm。

高流量效率

多孔金屬的特性是可以提供廣泛的流量範圍、材質以及配置組成應用。而此特性使IGS過濾器能確保流速達100 slpm同時仍能符合工業日進需求之標準。

完整產品組合範圍
Teesing為標準IGS模組系統提供了完整的套件組合,如 1.125" 搭配C型密封圈或W型密封圈,或以 1.5" 搭配C型密封圈或W型密封圈。

多樣化的材質
IGS過濾器提供了不銹鋼316L、Hastelloy® C-22或PENTA®鎳等材質。因此,在半導體製程中特別適用此過濾器來降低雜質飄散的風險。

靈活的控制
IGS過濾器亦針對系統穩定性提供內部節流

特色

優點

全金屬

抗高溫及高壓

全焊接

無機械密封

標準尺寸

容易安裝及維修

多孔金屬介質

可靠且有效過濾 (99.9999999%) 達 0.003µm

標準 IGS 組合

多種組合選項

簡潔 IGS 設計

較現行標準設計更節省空間

靈活性設計

材料、結構及流速的組合範圍廣

模組設計

容易安裝,變動及庫存最小

IGS filters

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